什么是EDS成分分析？
EDS（Energy Dispersive Spectroscopy，能谱分析）是一种常用于扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）中的微区成分分析技术。它通过检测样品受电子束激发后释放的特征X射线能量，来确定元素种类及其相对含量。
EDS的工作原理
当高能电子束轰击样品表面时，会激发出内层电子，形成空位。外层电子跃迁填补空位时会释放出具有特定能量的X射线。EDS探测器收集这些X射线，并根据其能量分布生成能谱图，从而识别样品中所含元素。
主要应用领域
- 材料科学：金属、陶瓷、复合材料的成分鉴定
- 地质学：矿物成分分析
- 失效分析：断口、腐蚀产物的元素组成
- 生物医学：组织或植入物中的微量元素检测
使用注意事项
EDS分析对样品表面平整度、导电性有一定要求；轻元素（如H、He、Li等）通常无法被有效检测；定量分析需结合标准样品进行校正。