什么是EDS分析？
EDS（Energy Dispersive Spectroscopy），即能谱分析，是一种常用于扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）中的微区成分分析技术。通过检测样品受电子束激发后释放的特征X射线，EDS可快速识别并定量分析材料中的元素组成。
EDS分析的基本原理
当高能电子束轰击样品表面时，会激发出内层电子，外层电子跃迁填补空位并释放出具有特定能量的X射线。不同元素发射的X射线能量不同，EDS探测器据此识别元素种类，并通过峰强度估算其相对含量。
典型应用场景
- 材料科学：金属、陶瓷、复合材料的成分分析
- 地质学：矿物成分鉴定
- 失效分析：异物、腐蚀产物、焊点成分检测
- 生物医学：组织或植入材料中微量元素分布研究
使用注意事项
EDS分析对样品导电性有一定要求，非导体需镀膜处理；轻元素（如C、N、O）检测灵敏度较低；定量结果为半定量，需结合标准样品校正。