EDS能谱全称为能量色散X射线光谱(英文:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,简称 EDS 或 EDX)。
EDS 是一种常用于材料科学、地质学、生物学等领域的微区成分分析技术,通常与扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)联用,通过检测样品受电子束激发后发射的特征X射线,来确定其所含元素的种类和相对含量。
该技术具有快速、无损、可同时分析多种元素等优点,广泛应用于金属、陶瓷、矿物、半导体、生物组织等样品的微观结构与成分研究。
EDS能谱全称为能量色散X射线光谱(英文:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,简称 EDS 或 EDX)。
EDS 是一种常用于材料科学、地质学、生物学等领域的微区成分分析技术,通常与扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)联用,通过检测样品受电子束激发后发射的特征X射线,来确定其所含元素的种类和相对含量。
该技术具有快速、无损、可同时分析多种元素等优点,广泛应用于金属、陶瓷、矿物、半导体、生物组织等样品的微观结构与成分研究。